与台积电、三星相比，  Intel   在  EUV   光刻机上跟进的较晚，但是今年也要追上来了，有分析称  Intel   已经有  10   到·  12   ̨  EUV   光刻机，明年的  14   代酷睿将首发  Intel 4 EUV   工艺。
　　EUV   光刻机是目前半导体生产中最先进也是最复杂的装备，售价约合  10   亿一台，只有荷兰  ASML   公司能够生产，虽然客户也只有  Intel   、台积电、三星这三家，但现在还是供不应求，去年生产了  55   台，预计  2025   年产能提升到每年  90   台。
　　尽管价值不菲，但是  EUV   光刻机不仅能够制造先进工艺芯片，  同时还能减少工艺步骤，降低复杂度，意味着芯片成本更低，产能更大，在  5nm   之后的工艺生产中极为重要。
　　目前的  Intel 10   及  Intel 7   工艺都没有使用  EUV   光刻机，    Intel   会在  Intel 4   工艺上首发  EUV   工艺，首款处理器是  14   代酷睿  Meteor Lake   ，     2023   年上市，而且也是  Intel   首款采用  3D   封装的桌面处理器。
　　14   代酷睿的进度要取决于  Intel   的  EUV   工艺进展，有爆料称  Intel   目前大约有  10-12   ̨  EUV   光刻机，现在主要在俄勒冈州的  D1X   晶圆厂及研发中心，这也是  Intel   最早量产  Intel 4 EUV   工艺的工厂，再往后是位于爱尔兰的晶圆厂，后面也会量产  Intel 4   工艺。
　　虽然  10-12   ̨  EUV   光刻机听着不多，但是实际的产能不小，  EUV   光刻机每小时处理的晶圆数在  160-220   个左右，平均  200   个来算，一年中  24   小时不停生产就有  170   万晶圆，足够生产数千万芯片，  10   台以上的总量足够  Intel   生产未来的处理器了。

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