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IntelCEO基辛格拥抱EUV光刻会有重大工艺升级

  在  10nm   节点  Intel   的进度比预期晚了多年,很大一个原因跟  EUV   光刻机有关,  Intel   之前一直认为  EUV   技术不成熟,所以他们在  10nm   节点使用了四重曝光工艺,量产难度大,导致  10nm   工艺延期。
  现在  Intel   的态度变了,对  EUV   光刻工艺开始重视起来了,毕竟三星、台积电的  EUV   工艺都量产几年了,  Intel   也将在  7nm   节点全面使用  EUV   光刻工艺,只不过该工艺也跳票了,预计  2023   年才能量产。
  在日前参加摩根大通的会议时,    CEO   基辛格表示,  Intel   将全面拥抱  EUV   光刻工艺,大家能够看到  Intel   对  EUV   工艺进行多代重大改进,大家能看到晶体管级别的重大改进。
  从  Intel   的表态来看,他们对  EUV   工艺很有信心,不同厂商手中  EUV   工艺的发挥情况也不同,  Intel   这番表态暗示他们会对  EUV   工艺做出重大改进,甚至能深入到晶体管级别的升级改良。
  【来源:快科技】【作者:宪瑞】

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