昨天全球最大的光刻机供应商  ASML   发布了  2021   年  Q4   及全年财报，去年营收  186.11   亿欧元，较上一财年增长  33%   ，净利润也从  35.54   亿欧元涨至  58.83   亿欧元，全年出货  42   套  EUV   光刻机，比上一年增加  11   套。
　　Q4   季度中，  ASML   公司还新增了  71   亿欧元的新订单， 其中就有一套  NA 0.55   高数值孔径  EUV   光刻机的销售 ，这是  ASML   下一代光刻机，订购这个光刻机的是  Intel   ，据说成本高达  3   亿美元，约合  19   亿元。
　　要知道，在当前的  EUV   光刻机销售中，台积电及三星都是大客户，订单量远高于  Intel   ，   但在下一代  EUV   光刻机中  Intel   拿到了独占权，有一定的抢先期，早在  2018   年就下第一台。
　　在当前  NA 0.33   的  EUV   光刻机中，  Intel   动作慢了，被台积电、三星抢先，  Intel   的  EUV   工艺芯片量产要到  2023   年的  14   代酷睿  Metor Lake   上。
　　在下一代  NA 0.55   的  EUV   光刻工艺中，   Intel   不允许同样的错误再次发生，这一次要抢先三星台积电下单，也会抢先量产  20A   及  18A   工艺，首次进入埃米级工艺节点。
　　基于此，   4   年来  Intel   实际上已经下单了  6   ̨  NA 0.55   的  EUV   光刻机，  其中分为两种，  Twinscan Exe:5000   系列主要用于工艺研发，产能输出是  185WPH   ，每小时生产  185   片晶圆，  2023   年上半年交付。量产型的  NA 0.55   光刻机是  Twinscan Exe:5200   ，产能提升到  200WPH   ，每小时  200   片晶圆，预计会在  2024   年下线，  Intel   的  20A   工艺正好是在  2024   年量产。
　　【来源：快科技】【作者：宪瑞】

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